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关于天津中环领先材料技术有限公司集成 电路用12英寸半导体硅片研发项目环境影响评价拟审批公示
发布日期:2019-03-15
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1、天津滨海高新技术产业开发区行政审批局按照《中华人民共和国环境影响评价法》、《中华人民共和国行政许可法》、《中华人民共和国政府信息公开条例》以及相关法规、规章和规定的要求,公示建设项目环境影响评价拟审批信息。

2、公示时限:自信息发布起5个工作日。

3、公示期间,公众(包括个人、团体等)可以通过邮箱或信函(以邮戳为准)方式提出意见。

邮箱:gxqspyj@163.com

信函请寄至:天津市华苑科技园开华道20号,天津滨海高新区行政审批局收(邮编:300384)。请在信封上注明:对天津中环领先材料技术有限公司集成电路用12英寸半导体硅片研发项目的意见。

4、听证权利告知:依据《中华人民共和国行政许可法》,自公示起五日内申请人、利害关系人可提出听证申请。

5、相关资料由行政许可申请人提供、并以其所提交的形式进行公开。上述资料和信息中如有错漏,使用上述信息和资料作为依据者自行承担责任。

项目名称

天津中环领先材料技术有限公司集成电路用12英寸半导体硅片研发项目

建设地点

天津滨海高新区华苑科技园(环外)海泰东路12号

建设单位

天津中环领先材料技术有限公司

环境影响评价机构

北京欣国环环境技术发展有限公司

项目概况

天津中环领先材料技术有限公司(以下简称“领先公司”)位于天津滨海高新区华苑科技园(环外)海泰东路12号,是具有研发、制造区熔-直拉半导体硅化腐片、抛光片的高新技术企业。该地址厂区内还设立有天津市环欧半导体材料技术有限公司(以下简称“环欧公司”)、天津中环半导体股份有限公司(以下简称“中环股份”),其中环欧公司和领先公司均为中环股份的控股子公司。现领先公司拟投资18265万元,在现有厂区扩建集成电路用12英寸半导体硅片研发项目。该项目总建筑面积6000㎡,其中利用领先公司现有预留厂房4930㎡,租用环欧公司厂房1070㎡。该项目主要建设内容为:购置安装切线机、倒角机、磨片机、减薄机、抛光机、空压机等工艺设备12套(台),新增一条12英寸半导体硅片生产线。该项目预计2019年5月投产,建成后月产2万片12英寸抛光硅片。该项目环保投资60万元,主要用于营运期废水收集及回用设施运行与维护、废气处理设施运行和维护、设备噪声消声减震措施、固体废物收集暂存设施等。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

根据该项目环境影响报告表分析结论:

(一)粘棒工序在密闭的粘棒间内进行,粘棒废气经车间整体全部收集,经管路引至环欧公司现有1套碳纤维吸附净化系统处理后,通过该公司现有1根25m高排气筒Px排放;VOCs的排放浓度和排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放标准》(DB12/524-2014)中相应限值要求。

双面抛光清洗、预清洗、最终清洗均在清洗机内完成,清洗的过程完全处于封闭空间内,清洗废气均通过与设备直连的管道全部收集引至领先公司现有1套酸碱废气净化装置处理后,通过该公司现有1根25m高排气筒P1排放;HCL、HF排放浓度和排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中相应限值要求,氨和臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》(DB12/-059-2018)中相应限值要求。

(二)含碱废水、含酸废水和有机废水依托中环股份现有综合废水处理站生化处理后由领先公司现有污水排放口排放;颗粒废水依托环欧公司8英寸回用水系统处理后部分回用于环欧8英寸纯水制备系统,纯水机排浓水直接排入环欧公司污水排放口;上述废水经市政污水管网,最终排入咸阳路污水处理厂集中处理。污水排放口水质须满足《污水综合排放标准》(DB12/356-2018)三级标准要求。

(三)线纫机、倒角机、减薄机、抛光机、空压机等设备为主要噪声源,应优先选用低噪设备,采取消音、隔声、减振等措施,确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类、4类标准限值要求。

(四)固体废物分类收集。废硅片及边角料、废切割线、废包装材料为一般固体废物,交由物资部门回收处理;废砂浆属于一般固体废物,循环至砂浆回收系统,定期排放,委外处理;废胶、废弃化学品包装桶、废活性炭、废碱液、废离子交换树脂属于危险废物,交由有资质的单位统一处理。确保处置去向合理,避免产生二次污染。

(五)加强对危险物料的管理,制定应急预案,落实各项事故防范、减缓措施,有效避免事故发生。

公众参与情况

在2019年2月27日至2019年3月12日受理公示期间,我局未收到公众意见。

公示时间

2019年3月15日至2019年3月21日

2019年3月15日

来源:天津高新区

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